洛陽中硅高科技有限公司的多晶硅材料制備技術(shù)國家工程實(shí)驗(yàn)室，科研人員正在做實(shí)驗(yàn)。河南日?qǐng)?bào)資料圖片

河南日?qǐng)?bào)客戶端記者 尹江勇

一粒小小的傳感器，可賦能萬物，感知大千世界;一枚晶瑩的半導(dǎo)體，可轉(zhuǎn)換光電，導(dǎo)向無盡未來。智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，作為新一代信息技術(shù)的核心，已然成為科技競爭的主戰(zhàn)場。省委、省政府著眼構(gòu)建現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，將智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)列為全省重點(diǎn)打造的千億級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈。

漢威科技、仕佳光子分別在傳感器、激光器芯片領(lǐng)域牽頭實(shí)施2項(xiàng)國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃;龍門實(shí)驗(yàn)室與中硅高科、麥斯克電子等企業(yè)聯(lián)合攻克了電子級(jí)多晶硅提純關(guān)鍵核心技術(shù);平煤神馬集團(tuán)碳化硅半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室成功生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠……去年以來，我省高位推動(dòng)智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，令人振奮的創(chuàng)新成果不斷涌現(xiàn)。

省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動(dòng)方案(2023—2025年)》;河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌;成功舉辦2023世界傳感器大會(huì);河南省傳感器行業(yè)協(xié)會(huì)建設(shè)的全國傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務(wù)平臺(tái)累計(jì)交易量突破20億元……我省搶抓機(jī)遇，圍繞補(bǔ)鏈延鏈強(qiáng)鏈整合優(yōu)勢(shì)，持續(xù)加大產(chǎn)業(yè)鏈培育力度，正努力把河南智能傳感器和半導(dǎo)體打造成為在全國有影響力的標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)。

創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)

企業(yè)主體“龍騰虎躍”

陽春三月，萬物生機(jī)勃發(fā)。在洛陽中硅高科技有限公司的硅基材料制備技術(shù)國家工程研究中心實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，十幾個(gè)攻關(guān)組組建了近20個(gè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，每個(gè)團(tuán)隊(duì)緊盯一個(gè)產(chǎn)品，研究人員正埋頭進(jìn)行硅基電子材料新產(chǎn)品研發(fā)。

目前國家在集成電路領(lǐng)域需要的硅基材料有40余種。“我們要在2025年前在產(chǎn)業(yè)方面實(shí)現(xiàn)30種國產(chǎn)供應(yīng)，其余的要在實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)突破。”中硅高科副董事長、黨委副書記、總經(jīng)理萬燁表示，企業(yè)作為河南省電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)鏈和洛陽市集成電路和智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈鏈主單位，將加大科研投入力度，支撐洛陽產(chǎn)業(yè)鏈條沖刺百億級(jí)目標(biāo)。

類似的企業(yè)發(fā)展場景在我省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條上正不斷呈現(xiàn)：去年10月17日，位于平頂山市的河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司年產(chǎn)2000噸電子級(jí)碳化硅粉體項(xiàng)目一期試生產(chǎn)成功，標(biāo)志著河南電子級(jí)碳化硅粉體開始進(jìn)入批量生產(chǎn)階段，填補(bǔ)了河南第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域空白。

今年年初，作為國內(nèi)氣體傳感器行業(yè)龍頭企業(yè)，漢威科技集團(tuán)發(fā)布了JT-KWA系列激光家用可燃?xì)怏w探測(cè)器新品，意味著漢威科技集團(tuán)已實(shí)現(xiàn)從激光器到傳感器模組再到可燃?xì)怏w探測(cè)器的全鏈條自主可控，引領(lǐng)激光氣體探測(cè)技術(shù)從工業(yè)走向民用領(lǐng)域，并形成了行業(yè)領(lǐng)先的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)。

“2023年以來，按照省委、省政府培育推進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈工作統(tǒng)一要求，我省聚焦提升產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)高級(jí)化和現(xiàn)代化水平，緊密協(xié)作、齊抓共管，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)生態(tài)擴(kuò)量提質(zhì)，產(chǎn)業(yè)鏈自主創(chuàng)新能力和核心競爭力正加速提升。”省科技廳黨組書記、廳長張銳介紹，鄭州、洛陽兩個(gè)產(chǎn)業(yè)核心區(qū)創(chuàng)新發(fā)展能力和集聚效應(yīng)顯著增強(qiáng)，三個(gè)高能級(jí)平臺(tái)穩(wěn)步推進(jìn)，N個(gè)特色產(chǎn)業(yè)基地加緊建設(shè)，將智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)打造成為全省新興領(lǐng)域標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)的信心進(jìn)一步增強(qiáng)。

圍繞關(guān)鍵環(huán)節(jié)，強(qiáng)化科技攻關(guān)。河南省日立信股份有限公司研制出基于硅基氣敏薄膜芯片的MEMS氫氣、甲醛及硫化氫傳感器，已成功在核電、新能源汽車、智能家居等重點(diǎn)領(lǐng)域應(yīng)用驗(yàn)證;鄭州磨料磨具磨削研究所、河南飛孟金剛石公司承擔(dān)的第三代化合物半導(dǎo)體用材料產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目通過了國家驗(yàn)收;平煤神馬集團(tuán)碳化硅半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠，填補(bǔ)了我省相關(guān)領(lǐng)域空白。

聚焦產(chǎn)業(yè)需求，創(chuàng)新服務(wù)發(fā)力。省科技廳圍繞我省7大萬億級(jí)先進(jìn)制造業(yè)集群和28個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈一體化布局創(chuàng)新鏈，全面啟動(dòng)科技服務(wù)綜合體工作，為創(chuàng)新主體提供專業(yè)、精準(zhǔn)、高效的創(chuàng)新服務(wù)。在智能傳感器和半導(dǎo)體方面，實(shí)施2023年度重大科技項(xiàng)目12項(xiàng)，省財(cái)政合計(jì)支持2580萬元，涵蓋材料、芯片、傳感器、裝備制造、應(yīng)用場景示范等方向，為提升產(chǎn)業(yè)鏈各關(guān)鍵環(huán)節(jié)核心競爭力提供有力的科技支撐。

全鏈提升

“一谷多園”持續(xù)優(yōu)化

沿鄭州高新區(qū)科學(xué)大道往西，就能看到總投資60億元的中國(鄭州)智能傳感谷啟動(dòng)區(qū)，這里已集聚傳感器產(chǎn)業(yè)鏈核心及關(guān)聯(lián)企業(yè)3000余家，綜合實(shí)力居全國傳感器十大園區(qū)第四位。

智能傳感谷是我省打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群的核心承載平臺(tái)。“作為傳感谷建設(shè)的先頭部隊(duì)，啟動(dòng)區(qū)內(nèi)的產(chǎn)業(yè)布局完全按照產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展要素而建，規(guī)劃有創(chuàng)業(yè)孵化大廈、中試基地、產(chǎn)學(xué)研基地、企業(yè)總部基地、產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)及飛地孵化基地，打造國內(nèi)一流、國際先進(jìn)水平的智能傳感物聯(lián)新高地。”啟動(dòng)區(qū)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人劉鵬告訴記者。

省委、省政府高度重視智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，將其列為河南省重點(diǎn)培育的28條產(chǎn)業(yè)鏈之一。根據(jù)2023中國民營經(jīng)濟(jì)發(fā)展論壇發(fā)布的《民營經(jīng)濟(jì)驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展研究暨2023中國百強(qiáng)產(chǎn)業(yè)集群》報(bào)告，鄭州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群成功入選“百強(qiáng)”，位列河南第一。經(jīng)過多年發(fā)展，智能傳感谷的產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)加速集聚態(tài)勢(shì)，形成了氣體、氣象、農(nóng)業(yè)、電力(網(wǎng))等多門類傳感器產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力。

截至目前，智能傳感谷已擁有國家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)41家。其中漢威電子、新天科技、光力科技等6家智能傳感器上市企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模已由50億元壯大至300億元，年均增長45%。氣體傳感器國內(nèi)市場占有率達(dá)75%，氣體檢測(cè)儀表國內(nèi)市場占有率達(dá)15%，居全國首位。智慧水務(wù)、智慧環(huán)保、安全監(jiān)測(cè)等整體解決方案成為行業(yè)標(biāo)桿。

根據(jù)規(guī)劃，智能傳感谷將重點(diǎn)圍繞智能傳感器材料、智能傳感器系統(tǒng)、智能傳感器終端“三個(gè)產(chǎn)業(yè)集群”，發(fā)展環(huán)境傳感器、智能終端傳感器、汽車傳感器“三個(gè)特色產(chǎn)業(yè)鏈”，形成千億產(chǎn)業(yè)帶。到2025年，智能傳感谷將打造千億級(jí)產(chǎn)業(yè)集群，鄭州市智能傳感器產(chǎn)業(yè)相關(guān)規(guī)模達(dá)到1000億元，建設(shè)國家級(jí)技術(shù)中心3個(gè)以上，培育超100家高新技術(shù)企業(yè)。

與此同時(shí)，全省加速布局智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈：洛陽市圍繞智能傳感器、電子特氣、硅基電子功能材料等重點(diǎn)細(xì)分領(lǐng)域，強(qiáng)化關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，推動(dòng)重點(diǎn)項(xiàng)目建設(shè)，加快打造半導(dǎo)體材料制造基地;新鄉(xiāng)市做大、做強(qiáng)、做優(yōu)特色電子氣體、芯片制造和芯片封測(cè)產(chǎn)業(yè)，新鄉(xiāng)高新區(qū)半導(dǎo)體數(shù)字產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目正在規(guī)劃建設(shè)中;鶴壁市項(xiàng)目建設(shè)不斷加快，仕佳光子產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)優(yōu)勢(shì)地位得到加強(qiáng);南陽市重點(diǎn)在紅外傳感器、光敏電阻等領(lǐng)域發(fā)力，并向氣體、火焰探測(cè)等工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用拓展，高標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)社旗縣傳感器高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)項(xiàng)目;鄭州航空港區(qū)落地惠科、合晶硅片、龍芯中原總部等重大項(xiàng)目，與超聚變、比亞迪等終端項(xiàng)目形成產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)，打造泛半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)群。

俯瞰中原大地，以鄭州的智能傳感谷為核心，智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈已輻射四面八方。開封流量儀表、洛陽氣象監(jiān)測(cè)、新鄉(xiāng)MEMS制造、鶴壁光電傳感……各地逐步形成了各具特色的產(chǎn)業(yè)園區(qū)，全省“一谷多園”的產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局正在持續(xù)優(yōu)化。

平臺(tái)賦能

創(chuàng)新生態(tài)“枝繁葉茂”

進(jìn)入我省搭建的“智能傳感產(chǎn)業(yè)生態(tài)平臺(tái)”，鄭州一家傳感器企業(yè)的研發(fā)人員上傳需求后，很快就在平臺(tái)上匹配到深圳一家企業(yè)，找到了研發(fā)急需的5G模組。“有了平臺(tái)支撐，可以大大加快我們企業(yè)的研發(fā)速度，并降低成本。”企業(yè)負(fù)責(zé)人王斌興奮地說。

據(jù)介紹，鄭州智能傳感谷啟動(dòng)區(qū)打造了行業(yè)首個(gè)產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)平臺(tái)，匯聚產(chǎn)業(yè)全要素?cái)?shù)據(jù)，組織產(chǎn)業(yè)上下游優(yōu)質(zhì)資源，構(gòu)建起線上“傳感生態(tài)圈”，如今已有1000余家企業(yè)入駐，涵蓋3萬多個(gè)產(chǎn)品類別，幾乎可以滿足企業(yè)所有需求，助力傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同發(fā)展。

“為了構(gòu)建良好的智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)圈，我省全力提升創(chuàng)新能級(jí)，高標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)了墨子實(shí)驗(yàn)室、智能傳感器產(chǎn)業(yè)研究院、智能傳感器中試基地等省級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)，加快建設(shè)省智能傳感器研發(fā)服務(wù)平臺(tái)，為技術(shù)創(chuàng)新、人才集聚、產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供重要支撐。”省科技廳黨組成員、副廳長陶曼晞介紹，2023年以來，我省在平臺(tái)建設(shè)方面力度不斷增強(qiáng)——

去年7月10日，墨子實(shí)驗(yàn)室正式揭牌，聚焦半導(dǎo)體光芯片全產(chǎn)業(yè)鏈布局研發(fā)方向，加快關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)。10月30日，省工業(yè)和信息化廳牽頭成立河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，將墨子實(shí)驗(yàn)室吸納為聯(lián)盟理事單位，推動(dòng)墨子實(shí)驗(yàn)室與省內(nèi)電子信息企業(yè)資源共享、協(xié)同合作。

2023年9月1日，智能傳感器MEMS研發(fā)服務(wù)平臺(tái)在鄭州高新區(qū)開工建設(shè)，項(xiàng)目總投資約15億元，力爭2024年9月具備部分投產(chǎn)條件，2025年年底達(dá)到交付使用條件。屆時(shí)，將實(shí)現(xiàn)“基礎(chǔ)研究—技術(shù)攻關(guān)—技術(shù)應(yīng)用—成果產(chǎn)業(yè)化”全過程無縫銜接，推動(dòng)智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁向規(guī)?；?、特色化、差異化、高端化，建設(shè)具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。

在集成電路領(lǐng)域，公共研發(fā)平臺(tái)和中試平臺(tái)建設(shè)工作也在快馬加鞭。去年10月8日，省委專題會(huì)議研究同意實(shí)施集成電路中試平臺(tái)(公共研發(fā)平臺(tái))建設(shè)項(xiàng)目。去年11月28日，集成電路中試平臺(tái)項(xiàng)目在鄭東新區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展局完成了項(xiàng)目備案。目前，中試平臺(tái)建設(shè)工作正在有序快速推進(jìn)。

令人振奮的是，從省智能傳感器行業(yè)協(xié)會(huì)傳來消息，“河南省智能傳感產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)”并購整合了中國傳感器網(wǎng)、傳感器專家網(wǎng)、傳感器咨詢網(wǎng)等國內(nèi)有影響力的產(chǎn)業(yè)平臺(tái)，已經(jīng)成為全國傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務(wù)平臺(tái)，平臺(tái)累計(jì)交易量突破20億元。

“通過平臺(tái)匯聚產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù)，組織上下游優(yōu)質(zhì)資源，構(gòu)建產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)和產(chǎn)業(yè)服務(wù)，我們可以實(shí)現(xiàn)從人才到研發(fā)、研發(fā)到產(chǎn)品、產(chǎn)品到場景、場景到市場的深度融合。”河南省智能傳感器行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長朱寧表示，未來我省將進(jìn)一步發(fā)揮產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)平臺(tái)作用，暢通“研發(fā)設(shè)計(jì)—產(chǎn)品—場景—市場”全要素對(duì)接渠道，為智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)立足河南、走向全國提供全鏈條服務(wù)。

產(chǎn)業(yè)鏈名片

●智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是新一代信息技術(shù)的核心。我省傳感器領(lǐng)域已經(jīng)形成了氣體、氣象、農(nóng)業(yè)、電力(網(wǎng))、環(huán)境檢測(cè)等多門類產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力，涵蓋了環(huán)境、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、電力等諸多領(lǐng)域;半導(dǎo)體方面也初步形成了關(guān)鍵材料、芯片設(shè)計(jì)、器件制造與封測(cè)等較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈，并在關(guān)鍵材料環(huán)節(jié)，硅片、濕化學(xué)品、電子特氣、超純銅等方面均取得重大突破。

●截至目前，我省在相關(guān)產(chǎn)業(yè)細(xì)分領(lǐng)域優(yōu)勢(shì)明顯，漢威科技的氣體傳感器、森霸傳感的熱釋電紅外傳感器、日立信的六氟化硫傳感器國內(nèi)市場占有率均居第一，光力科技的瓦斯抽采和氣體云監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、新天科技的智能水表國內(nèi)領(lǐng)先，半導(dǎo)體封測(cè)設(shè)備核心傳感器已實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，壓力、聲學(xué)、激光、流量等傳感器供給能力得到了明顯增強(qiáng)。

●全省現(xiàn)有智能傳感器和半導(dǎo)體高新技術(shù)企業(yè)260余家，其中產(chǎn)業(yè)鏈內(nèi)上市公司已超過10家，擁有漢威科技、日立信、仕佳光子、麥斯克、多氟多等一批行業(yè)龍頭企業(yè)和單項(xiàng)冠軍企業(yè)。

大事記

●2023年4月

光力瑞弘半導(dǎo)體智能制造產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目(一期)建成投產(chǎn)，劃片機(jī)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定供貨。

●2023年6月1日

第一次省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈培育工作會(huì)議召開，工作專班成立，省委常委、宣傳部長王戰(zhàn)營任產(chǎn)業(yè)鏈鏈長。

●2023年6月16日

省委常委、宣傳部長王戰(zhàn)營帶隊(duì)赴鄭州高新區(qū)調(diào)研智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況。

●2023年7月6日

第二次智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈工作專班推進(jìn)會(huì)召開，審議修改《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動(dòng)方案》，安排部署下一步工作。

●2023年7月10日

墨子實(shí)驗(yàn)室正式揭牌成立。省委書記樓陽生揭牌，省長王凱出席。

●2023年8月

麥斯克電子年產(chǎn)360萬片8英寸硅外延片正式開工建設(shè);中硅高科電子信息材料轉(zhuǎn)型升級(jí)項(xiàng)目建成調(diào)試。

●2023年9月1日

智能傳感器MEMS研發(fā)服務(wù)平臺(tái)在鄭州高新區(qū)開工建設(shè)。

●2023年9月20日

鄭州合晶硅材料有限公司12英寸大硅片項(xiàng)目開工建設(shè)。

●2023年10月

省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動(dòng)方案(2023—2025年)》。

●2023年10月28日

超算互聯(lián)網(wǎng)核心節(jié)點(diǎn)建設(shè)工程項(xiàng)目簽約暨開工儀式在鄭州舉行。省委書記樓陽生講話，省長王凱出席。

●2023年10月30日

河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌。

●2023年10月31日

河南省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈工作推進(jìn)會(huì)暨產(chǎn)業(yè)金融合作對(duì)接會(huì)在中國(鄭州)智能傳感谷啟動(dòng)區(qū)召開。

●2023年11月5日至7日

2023世界傳感器大會(huì)在鄭州召開。

●2023年12月6日至8日

經(jīng)國務(wù)院批準(zhǔn)，2023世界5G大會(huì)在鄭州成功舉辦。

(河南日?qǐng)?bào)客戶端記者 尹江勇整理)

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